沉積
蒸發系統用於沉積具有高品質表面處理的金屬薄膜層
傳感器封裝集成實驗室集中提供各種設備,支援整個微型或納米傳感器、以及其他相關器件, 例如傳感器芯片或器件的開發週期,集成、測試及封裝等工序。
傳感器封裝集成實驗室設有兩個 100 / 1000 / 10000 級潔淨室,讓研發者進行研究及產品開發。除了配備完善的潔室所需設備外,香港科技園公司及合作野夥伴公司亦提供晶圓加工工具 (包括沉積、微影、蝕刻、封裝和測試),以及技術支援和諮詢服務。
提供給用戶進行研究和產品開發。除了設備齊全的無塵室設施外,香港科技園及合作伙伴亦提供常見的晶圓加工工具(包括沈積、圖案、蝕刻、封裝及表徵)、技術支援及諮詢服務。
歡迎科研機構制定政府資助科技項目,利用實驗室的服務,試行生產。
了解香港科學園傳感器科技的發展概況,參閱2018年12約月10日舉行的第一屆醫療保健及智慧城市微/納米傳感器國際研討會上,專家講者的見解和論點。(只有英文版本)